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在操控過程中,由測厚探頭檢測到薄膜厚薄信號傳送到計算機,計算機把厚薄信號與當時設(shè)定均勻厚度進行對照,根據(jù)厚薄誤差量以及曲線變化趨勢進行運算,操控電機驅(qū)動閥門移動,當薄膜偏厚時,電機正向移動,風(fēng)口關(guān)?。幌喾矗姍C反向移動,風(fēng)口增大,通過改動風(fēng)環(huán)圓周上…
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